SMC防爆型3/5通電磁閥 50-VFE/50-VPE防爆規(guī)格
符合標(biāo)準(zhǔn)(IEC標(biāo)準(zhǔn))。
防水性：符合JISF8001第3種散水試驗(yàn)。
無需考慮先導(dǎo)閥排氣設(shè)備。
SMC防爆型3/5通電磁閥 50-VFE/50-VPE
彈性密封
系列有效截面積mm2 （Cv）消耗功率 （W）
50-VFE3000 5通18 （1.0）3.5
50-VFE5000 45 （2.5）
50-VPE500 3通41.4 （2.3）
50-VPE700 72 （4）
特長
符合標(biāo)準(zhǔn)（IEC標(biāo)準(zhǔn)）。
防水性：符合JISF8001第3種散水試驗(yàn)。
無需考慮先導(dǎo)閥排氣設(shè)備。
（主閥、先導(dǎo)閥共同排氣型［50-VFE3000］）
可以集裝化（50-VEF）
可作為選擇閥、分流閥使用，也可用于真空環(huán)境。 （50-VPE）
XLA 16 M9N一個(gè)
M9N（L）（M）（Z）
M9P（L）（M）（Z）
M9B（L）（M）（Z）
前（L）
A93（L）
D-M9N（L）（M）（Z）
D-M9P（L）（M）（Z）
D-M9B（L）（M）（Z）
D-A90（L）
D-A93（L）
沒有汽車開關(guān)（沒有內(nèi)建的磁鐵）
固態(tài)自動(dòng)開關(guān)
沒有汽車開關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）
里德汽車開關(guān)（并不適用
法蘭尺寸16）
汽車開關(guān)類型t
西北）滴定（
凱西（DN）
16日、25名、40名,50歲,63歲,80
63,80
w法蘭連接式
高真空角閥
正常關(guān)閉/波紋管密封
問法蘭尺寸
y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置
沒有汽車開關(guān)
安裝的位置
閥門開啟和關(guān)閉
開啟閥門
閥門處于關(guān)閉狀態(tài)
r溫度規(guī)格/加熱器
溫度
5到60°C
5到150°C
用100°C加熱器
加熱器和120°C
你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分
與 8226;密封材料
密封材料
FKM
面額8727;產(chǎn)生了三菱電纜行業(yè),垂詢。
面額8226;身體表面處理
表面處理
外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料
外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化
桶Perfluoro& # 174;是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的Matsumura石油有限公司。
Kalrez&;是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的杜邦公司績效彈性體。
Chemraz&;是一個(gè)注冊(cè)商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。
ARMOR& ULTIC;注冊(cè)商標(biāo)是日本Valqua行業(yè),有限公司。
注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。
艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向
汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格
（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。
加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米
例）-M9NL
與# 8226;密封材料改變部分和泄漏
泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）
訂購的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號(hào)開始
以“X”,緊隨其后的是每個(gè)符號(hào)為“身體表面處理,”
“密封材料”,再選擇“改變分離。”
例）XLA-16-M9NA-XAN1A
注1）值在常溫下,不含氣體滲透。
注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁。
部件號(hào)碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。
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| | 系列/CAD | 動(dòng)作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | XLA  | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁合金
波紋管：
SUS316L | 16～80 | XLAV
（帶電磁閥） | | XLC | 雙作用 | XLCV
（帶電磁閥） | | XLF | O形圈密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁合金 | 16～160 | XLFV
（帶電磁閥） | | XLG | 雙作用 | 16～80 | XLGV
（帶電磁閥） | | XLD | 波紋管?
O形圈密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁合金
波紋管：
SUS316L | 25～80 | XLDV
（帶電磁閥） | | XLH | 手動(dòng) | 波紋管密封 | 手動(dòng) | 閥體：
鋁合金
波紋管：
SUS316L | 16～50 | | XLS | 電磁式 | 波紋管壓力平衡 | 單作用
（N.C.） | 16, 25 | | 特長 | - 抗氟腐蝕能力強(qiáng)。
- 放出氣體少。
- 重金屬污染少。
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| | 系列/CAD | 動(dòng)作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | | XLAQ | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
鋁
波紋管：
SUS316L | 16～50 | | XLDQ | 波紋管密封
O形圈密封 | 40,50 | | 特長 | | |
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注）對(duì)直通型無尺寸16的閥。 | 系列/CAD
（L型/直通型） | 動(dòng)作方式 | 軸密封方式 | 閥形式 | 材質(zhì) | 法蘭尺寸 | | XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
SCS13
（相當(dāng)SUS304）
波紋管：
SUS316L | 16～80注） | | XMC/XYC | 雙作用 | | XMD/XYD | 波紋管
O型圈密封 | 單作用
（N.C.） | 閥體：
SCS13
（相當(dāng)SUS304）
波紋管：
SUS316L | 25～80 | | XMH/XYH | 手動(dòng) | 波紋管密封 | 手動(dòng) | 閥體：
SCS13
（相當(dāng)SUS304）
波紋管：
SUS316L | 16～50注） | | 特長 | - 采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。
- 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 （XM系列）
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| | 系列 | 磁性開關(guān)種類 | 內(nèi)容 | | D Series | 有觸點(diǎn)的磁性開關(guān) | 一般 （通用型） | | 無觸點(diǎn)的磁性開關(guān) | 一般 （通用型） | |
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| | 系列/CAD | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 | | XVD | 常斷
（加壓通/彈簧密封） | 氮?dú)狻⒖諝?、惰性氣體等 | VCR®
Swagelok® | 1/4B | | 特長 | - 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
- （閥芯）座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
- 伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。
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| | 系列/CAD | 使用壓力范圍 （Pa） | 使用流體 | 門尺寸
（高×寬） （mm） | 動(dòng)作壓力
（MPa） | | XGT | 大氣壓～1×10-6 | 惰性氣體系的真空 | 32×222
46×236
50×336 | 0.45～0.6 | | 特長 | - 對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場(chǎng)合。
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| | 系列/CAD | 使用環(huán)境壓力｛Pa （ABS）｝ | 缸徑 （mm） | | CYV | 大氣～1.3×10-4 | 15,32 | | 特長 | - 真空環(huán)境內(nèi) （1.3×10-4Pa） 在搬運(yùn)場(chǎng)合可以使用的氣缸。
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